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| 品牌 |
辅光精密仪器（上海）有限公司 |
型号 |
FPSTA-8NTS-X |
| 货号 |
FPSTA-8NTS-X |
材质 |
铝合金 |
这款单轴压电致动器Piezo Actuator是为压电扫描定位设计的压电促动器,广泛用于扫描探针显微镜压电扫描和原子力显微镜压电致动和微纳操作,适合在开放和闭环系统中的光学压电驱动和扫描探针压电驱动应用。
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单轴压电致动器的中心部件具有可移动性,挂在柔性弹簧上,由压电致动器驱动,确保了较高刚性和高稳定性。相比于经典的压电陶瓷管的压电扫描台(球形扫描面),单轴压电致动器具有更好的位移线性和平整度,并具有更高机械强度。
单轴压电致动器Piezo Actuator配备了电容位移传感器,包括于数字反馈链系统内,用于数字闭环控制,它保证了高精度和线性位移,消除了压电陶瓷固有的蠕变效应。其中,电容测量采用TDC时间数字转换器,测量电子电路距离传感器更近,这种设计具有更低噪音和更高速度的位移控制。
这款单轴压电致动器可使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000或是NSpec软件。
单轴压电致动器特点
双电容传感器反馈技术
行程高达120微米
超高分辨率0.1nm
超薄且紧凑设计
较高的刚性
弱化了压电陶瓷的蠕变效应
超di噪音阻抗
非常适合各种原子力显微镜和扫描探针显微镜
具有真空版本的真空压电致动器
单轴压电致动器应用
扫描探针显微镜
原子力显微镜
纳米定位
计量学应用
生物学研究
微电子学应用
微操作
单轴压电致动器规格
主动轴 Z轴
Z轴行程 120μm
闭环分辨率 1nm
开环分辨率 0.1nm
整范围内的角度倾斜＜0.01度
zui大扫描速度 10Hz
电容值 20pF
Z轴谐振频率 3KHz
负载承重 100g
工作温度 -40~80°C
尺寸 30 x 30 x 22mm
材料 铝
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