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| 型号 |
ES5222-R |
|
在XYZ的直动3轴和θxθy的角度轴上组装了自动滑台的调节架。
其构成适用于单芯器件的自动调芯用途。
| 轴 | X | Y | Z | θx | θy | θz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 分辨率 | 1μm/脉冲(Full) 0.05μm/脉冲 (MS1/20) | 0.003°/
脉冲 (Full) | 0.0032°/
脉冲 (Full) | - | ||
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