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| 型号 |
ES6702-R |
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在XYZ的直动3轴和θxθyθz的角度3轴上组装了自动滑台的调节架。所有方向均可控制，因此其构成适用于单芯光纤、光纤阵列、光波导及各种光学元件等所有器件的自动调芯用途。光轴上方空旷，因此适用于显微镜和探针接近的用途。
| 轴 | X | Y | Z | θx | θy | θz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 移动量 | 50mm | 10mm | 50mm | ±6° | ±8° | ±8° |
| 分辨率 | 1μm/脉冲 (Full) 0.05μm/ 脉冲 (MS1/20) | 0.5μm/脉冲
(Full) 0.05μm/ 脉冲 (MS1/10) | 1μm/脉冲
(Full) 0.05μm/ 脉冲 (MS1/20) | 0.002466°/
脉冲 (Full) | 0.0030°/
脉冲 (Full) | 0.0032°/
脉冲 (Full) |
13540631709