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| 型号 |
ES3701-R |
|
| 轴 | X | Y | Z | θx | θy |
|---|---|---|---|---|---|
| 移动量 | 50mm | 10mm | 50mm | ±2.5° | |
| 分辨率 | 1μm/脉冲 (Full) 0.05μm/脉冲 (MS1/20) | 0.5μm/脉冲
(Full) 0.05μm/脉冲 (MS1/20) | 1μm/脉冲
(Full) 0.05μm/脉冲 (MS1/20) | 约
0.58°/ 脉冲 | 约
0.57°/ 脉冲 |
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