日本新宇宙XP-703DⅢ 半导体材料气体检测

日本新宇宙XP-703DⅢ 半导体材料气体检测

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品牌 日本新宇宙
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产品详情
品牌

日本新宇宙

尺寸

38*32*180

重量

190

测量对象

H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

测量范围

1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm

产地

日本

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

应用行业

半导体制造

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