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| 品牌 |
威尔WALE |
是否进口 |
否 |
| 加工定制 |
是 |
型号 |
IN10 |
| 驱动器行程 |
0-220mm |
驱动器指示精度 |
±(0.8+1.5L/100)μm |
| 立柱行程 |
0-620mm |
传感器量程 |
±10mm |
| 驱动器直线度 |
≤0.3μm/100mm |
Z1轴轮廓指⽰精度 |
≤±(0.5+|0.08H|)μm |
| 传感器残值噪声 |
≤4nm |
Z1粗糙度指⽰精度 |
≤±(4nm+2.5%) |
| 圆弧测量精度 |
≤±(1+R/12)μm |
传感器重复性 |
1δ≤1nm |
| 角度测量精度 |
≤±1′ |
|
18921190707