日本ARK高输出型晶圆外围曝光UV-LED光源EW04S

日本ARK高输出型晶圆外围曝光UV-LED光源EW04S

价格 ¥100.00
起订量 10㎡
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品牌 其他
型号 EW04S
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深圳市秋山贸易有限公司
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产品详情
产地

日本

是否进口

否

订货号

001

品牌

其他

货号

001

型号

EW04S

类型

低压汞灯

灯头规格

G9

额定功率

45

额定电压

200

长度(mm)

120

流明维持率

90

寿命

900000

加工定制

否

是否跨境出口专供货源

否

系列

65

光通量

455

显色指数

95

色温

65

长度

80

最小包装

70

日本ARK高输出型晶圆外围曝光UV-LED光源EW04S

4

用于g线和i线光刻胶晶圆外围曝光的UV-LED光源。 独特的光学设计可实现 7,000 mW/cm2 或更高的高输出。 它是加工厚膜抗蚀剂的理想选择,这过去需要大量的加工时间。 此外,曝光处理时间可以大大减少,这极大地促进了加工晶圆数量的增加。

规范

项目物质
工作环境温度 5~40°C(无冷凝。 )
电源电压 单相 100~240V
工频 50/60赫兹
发射峰值波长 365±5纳米
光输出稳定性 ±5%以内
初始紫外线强度 2000mW/c㎡以上(AT365nm,距掩模0.5mm)
强度分布的均匀性 10%以下(4×5mm面积)
紫外光源 紫外发光二极管
紫外光源寿命 20000 小时(估计使用寿命,最大驱动电流) *初始阶段UV强度为50%或更高的照明积分时间
照射开/关功能 紫外线 LED 开/关控制 (通过远程和手动控制打开/关闭)
光强调节功能 UV-LED电流调节 光强调节范围 20~100%
外饰材料 不锈的
外部尺寸 150(宽)×200(深)×192(高)毫米

日本ARK用于g线和i线光刻胶晶圆外围曝光的UV-LED光源EW01S

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用于g线和i线光刻胶晶圆外围曝光的UV-LED光源。
它可以很容易地安装在新设备中,也可以用目前使用的紫外灯光源代替。
UV-LED的安装通过降低功耗,减少环境影响,延长光源寿命以及消除对任何机械消耗件的需求,极大地降低了客户的运行成本。

规范

项目物质
工作环境温度 5~40°C(无冷凝。 )
电源电压 单相 100~240V
工频 50/60赫兹
发射峰值波长 365±5纳米
光输出稳定性 ±5%以内
初始紫外线强度 2000mW/cm2以上(AT365nm,距掩模0.5mm)
强度分布的均匀性 10%以下(4×5mm面积)
紫外光源 紫外发光二极管
紫外光源寿命 20000,50 小时(估计使用寿命,最大驱动电流)* 紫外线强度为初始强度的 % 或更多时的照明积分时间
照射开/关功能 紫外线 LED 开/关控制 (通过远程和手动控制打开/关闭)
光强调节功能 UV-LED电流调节 光强调节范围 20~100%
外饰材料 不锈的
外部尺寸 150(宽)×200(深)×192(高)毫米

日本ARK点照射通用光源AGIL-V

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它是使用紫外光固化粘合剂粘合光学元件和非常小的部件的理想选择。
它是一种轻巧紧凑的型号,具有通信功能,设计用于安装在设备中。
照射头可以连接到4CH,通过使用分支盒,可以点亮多达16个LED。
此外,通过更换尖端透镜,可以有效地将紫外线照射到所需区域。

规范

项目物质
电流控制方法 恒流控制
输出控制方式 脉宽调制方法
开/关功能模式 手动模式或定时模式(0.0~99 9秒时间设置)
设置/操作 本地(通过前面的 5 点轻触开关设置操作) 按菜单?上、下、设置、开始 /停止)或远程(取决于外部控制端子) 通过RS-485进行操作和通信)
光强调节功能 0.0~99.9%
最大输出电流设置 1.0安培
指示 8 段 LED 显示屏 4 位电流 通过通道特定 LED 显示状态和状态指示(ST 和/运行/错误)
通讯功能 RS485 通信速度高达 115,200 bps 协议 MDC/MODBUS_ASCII/M ODBUS_RTU
冷却功能 自然风冷
外饰材料 钣金喷漆
工作环境温度 5~40°C(无冷凝。 )
功耗 最大约84W
输入电源电压 直流24V
重量 约620g

商家电话:
15818790182