联系人：黄桂宇
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地址： 广东深圳市龙华区山咀头创客大厦
| 型号 |
TSM-300NT |
尺寸(W)×(D)×(H) |
1235mm×836mm×2155mm |
| 真空系统 |
油扩散泵(水冷)1100L/sec油旋片真空泵200L/min×2液氮冷阱 |
镀膜电极结构 |
3点切换(源长度:100mm) |
| 排气时间 |
4.0×10-3Pa/10min10-4Pa/10min(LN2) |
极限压力 |
4.0×10-4Pa1.3×10-4Pa(LN2) |
| 用水需求 |
1.5L/min(水温:20–25℃,水压：200–300kPa（计示压力) |
钟罩 |
直径390mm×350mm(H) |
| 电源 |
三相200V5.0kVA单相100V1.0kVA |
真空计 |
皮拉尼真空计“GP-1G” |
| 重量 |
31.3kg |
附件 |
三相200V电缆4m单相100V电缆4m |
| 控制系统 |
手动控制 |
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15818790182