联系人：黄桂宇
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电话：15818790182
地址： 广东深圳市龙华区山咀头创客大厦
| 气体进气口 |
3mm-6mm卡套接头 |
加热台温度 |
-190~350℃ |
| 电信号接头 |
SMA转BNCX4 |
真空抽气口 |
KF25真空法兰 |
| 上盖开启 |
铰链侧开 |
观察窗热台间距 |
75mm |
| 探针材质 |
钨针 |
腔体材质 |
304不锈钢 |
| 加热台温控误差 |
±1℃ |
探针尖 |
10μm |
| 加热台材质 |
304不锈钢 |
分子泵真空度 |
≤10-3Pa |
| 允许正压 |
≤0.1MPa |
机械泵真空度 |
≤10Pa机械泵 |
| 探针数量 |
4探针 |
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15818790182