联系人：陈经理
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| 品牌 |
孚光精仪 |
是否进口 |
是 |
| 测量范围 |
0.0001mm~20mmN |
显示方式 |
数字 |
| 重量 |
25kg |
型号 |
FPE-MX20 |
| 工作原理 |
激光测厚仪 |
用途 |
晶圆测厚仪 |
| 电源电压 |
220V |
厂家 |
www.felles.cn/qiaoqudu.html |
晶圆翘曲度厚度测试仪是为晶圆翘曲度测量和晶圆厚度测量设计的晶圆厚度翘曲度测量仪器。
晶圆翘曲度厚度测试仪应用
晶圆来料检测
晶圆研发和质量控制
标准厚度型号
型号晶圆 直径传感器计数可测厚度范围精度分辨率测量指标M 203-4-212", 3", 4"5, 13, 21200 - 800μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 203-6-334", 5", 6"17, 25, 33300 - 900μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 203-8-376", 8"21, 37400 - 1000μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 204-8-376", 8"21, 37400 - 900μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 201212"69500 - 1000μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 2012-H12"69500 - 900μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, Warp背面研磨型
型号晶圆直径传感器计数可测厚度范围精度分辨率测量指标M 203-6-33-B4", 5", 6"17, 25, 33100 - 700μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 203-8-37-B6", 8"21, 37200 - 700μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 203-58-375", 6", 8"13, 21, 37200 - 800μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 203-8-49-B4", 5", 6", 8"17, 25, 33, 49150 - 650μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 204-8-37-B6", 8"21, 37200 - 700μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 204-6-13-V5", 6"5, 13100 - 700μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 204-8-21-V6", 8"13, 21100 - 700μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 20138", 12"21, 37100 - 750μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, Warp高阻抗率
型号晶圆直径传感器数厚度范围精度分辨率测量指标M 203-4-37-Q2", 3", 4"21, 37300 - 800μm1μm0.1μm厚度,TTVM 203-6-33-Q3", 4", 5", 6"9, 13, 21, 33300 - 800μm1μm0.1μm厚度,TTV
太阳能领域
型号可容纳晶圆尺寸传感器数厚度范围精度分辨率测量指标M 203-6-41-q100x100, 125x125, 156x15621, 33, 41160 - 700μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 204-8-25-q125x125, 156x15617, 25150 - 600μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, WarpM 204-8-49-q125x125, 156x15625, 49100 - 600μm1μm0.1μm厚度,TTV,BOW, Warp
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