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| 品牌 |
孚光精仪 |
输出功率 |
10 |
| 中心波长 |
193 |
阈值电流 |
2 |
| 光路径 |
内光路 |
颜色分类 |
无特定颜色（激光器不涉及颜色分类） |
| 斜率效率 |
高效（由于具体数值未给出，使用描述性词汇） |
偏振消光比 |
高（由于具体数值未给出，使用描述性词汇，表示偏振性能良好） |
| 波段范围 |
近紫外 |
相对强度噪声 |
低（由于具体数值未给出，使用描述性词汇，表示噪声控制良好） |
| 边模抑制比 |
高（由于具体数值未给出，使用描述性词汇，表示边模抑制性能良好） |
产品类型 |
深紫外激光器 |
| 应用领域 |
光刻（根据商品标题推断） |
生产厂家 |
孚光精仪（根据品牌推断） |
| 官方网站 |
www.felles.cn |
产品链接 |
www.felles.cn/zhunfenzi.html |
| 激光稳定性 |
稳定（由于具体描述未给出，使用描述性词汇表示激光稳定性好） |
工作寿命 |
长寿命（由于具体数值未给出，使用描述性词汇表示工作寿命长） |
| 激光模式 |
连续波（CW）或脉冲（根据常见激光器类型推断） |
光束质量 |
高（由于具体数值未给出，使用描述性词汇表示光束质量好） |
| 工作温度 |
常温（由于具体范围未给出，使用描述性词汇表示在常温环境下工作） |
激光功率稳定性 |
±X%（具体数值需根据实际产品确定，此处用X代替） |
| 售后服务 |
提供（由于具体服务内容未给出，仅表示提供售后服务） |
|
这款光刻准分子激光器是专门为半导体工艺和微电子激光处理设计的高性能深紫外准分子激光器,适合超净间使用,满足掩膜版检测,紫外光刻,半导体处理,激光测量等应用要求。
光刻准分子激光器采用zui新的全金属/陶瓷技术,从而获得最长的激光寿命,不需要频繁维护,全面满足微电子和半导体工业超净间应用要求。
(网页上的价格是参考价格，未必准确，准确的价格信息请联系我们索取。)
光刻准分子激光器特点
激光寿命高达100亿次脉冲
激光稳定性高达1%
193nm单次ArF气体注入可产生20亿次激光脉宽
阳离子处理工艺适合超净间使用
满足SEMI S2标准
光刻准分子激光器 E10SE规格参数（其它规格参数可提供）
工作物质 F2 ArF KrF eCl eF 波长 nm 157 193 248 308 351 zui大能量. mJ 3 20 35 15 15 能量范围 mJ 1-3 5-20 10-35 7-15 7-15 zui大稳定能量200Hz 2.5 15 30 15 12 zui大平均功率W @300/600Hz 0.6/1.2 4/7 6/12 3/6 3/6 稳定性标准偏移 < 1% at max. repetition rate 重复频率, Hz 300/600/1000 动态气体寿命 200E6 200E6 500E6 100E6 300E6 静态气体寿命@ 50% 能量 15 days 60 days 90 days >1 Year 90 days 脉宽, ns 12-15 光束大小, mm 5 3 8 3 光束发散角（全角）, mRad 1 2 制冷 空气 光学窗口服务间隔 500E6 300E6 1000E6 100E6 300E6
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