联系人：陈经理
邮箱：info@f-lab.cn
电话：18326124276
地址： 上海浦东新区上海自由贸易试验区德堡路38号2幢楼三层
| 品牌 |
孚光精仪 |
是否进口 |
是 |
| 测量范围 |
1mN/mN |
读数准确度 |
1mN/m |
| 型号 |
FPEH-X60 |
重量 |
12kg |
| 厂家 |
www.felles.cn/sitanzhen.html |
|
晶圆电阻率测试仪采用非接触方式测量晶圆电阻率,测量P/N类型和晶圆厚度,适合硅材料和其它材料的Sheet Resistance测量。
晶圆电阻率测试仪应用
晶圆制造，晶圆品控，晶圆检测等。
晶圆电阻率测试仪规格参数
晶圆电阻率测试仪-低电阻测量
Gauge TypesWafer Diameter精度重复精度Resistivity RangeThickness Range说明M 604 / M 604-Bsilicon blocks±3%
0.25 - 25 Ohm*cm
M 604-S2" - 8"±3%0.5%0.1 - 50 Ohm/square200 - 900μm
M 604-ST125x125, 156x156mm
2"-6"
±5%
0.06 - 30 Ohm*cm60 - 300μm
M 6086", 8"
0.001 - 200 Ohm*cm500 - 800μm厚度，TTV,电阻率，P/N掺杂M 608-q125x125, 156x156mm
0.1 - 50 Ohm*cm150 - 350μm厚度，TTV,电阻率M 60128", 12"
0.001 - 200 Ohm*cm600 - 900μm厚度，TTV,电阻率，P/N掺杂
晶圆电阻率测试仪-低电阻测量
Gauge TypesWafer DiameterResistivity RangeThickness RangeM 601up to 6"5E4 to 5E9 Ohm*cm350 - 650μmM 60102", 3", 4"2E5 to 2E9 Ohm*cm300 - 600μm
18326124276