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优质基材
腔衰荡时间光谱仪或EUV镜的特殊激光应用的优质基材的特点是：
?准确的几何形状：有关直径，厚度，折痕或曲率半径等几何特性的公差，请参见我们目录的第12页
?表面粗糙度
?表面形状公差
?抛光表面上的缺陷数量
LAYERTEC针对所有这些参数优化了抛光程序。 在下文中，我们就会展示使用熔融二氧化硅和氟化钙可获得的出色结果。
规格
表面粗糙度
?RMS-熔融石英和氟化钙的平面基板的粗糙度<1.5?
?在光滑弯曲的球形熔融石英表面上得到相似的结果（取决于直径和曲率半径的比率）
?即使在紫外线范围内，基材的散射损耗也非常低：
?TS = 2 x 10 – 5 at 248nm (total backscattering)
?TS = 5.6 x 10 – 4 (total backscattering) and 7.5 x 10 – 4 (forward scattering) at 193 nm
?即使在DUV / VUV波长范围内也适用于低损耗光学元件
高质量抛光熔融石英基板的功率谱密度（PSD）曲线（在FhG IOF Jena上执行的测量）
高质量抛光CaF2基板（在FhG IOF Jena执行）的3D AFM测量，均方根粗糙度0.12nm
表面形状公差
Fused silica |
Plane |
λ/20 (633nm) for diameters of 6.35mm … 101.6 mm |
Spherical |
λ/10 (633nm) for diameters of 6.35mm … 38.1mm |
|
CaF2 |
Plane |
λ/10 (633nm) for diameters of 12.7mm … 25.4 mm |
λ/4 (633nm) for diameters of 38.1mm … 50.8 mm |
||
Spherical |
λ/4 (633nm) for diameters of 12.7mm ... 50.8mm |
?
表面质量
Material |
ISO 10110 (?25mm) |
Approximately equivalent to MIL-O-13830 |
Fused Silica |
5/1x 0.010 L1x 0.0005 |
Scratch - Dig 5 - 1 |
CaF2 |
5/1x 0.016 L1x 0.0010 |
Scratch - Dig 10 - 2 |
?
15933752505