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XYZ 轴交叉滚柱培林奈米级精密微调移动平台 - 20nm 分厘卡头
06FAS-3LNM
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06FAS-3RNM
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06FAS-3LNM+3RNM示意图
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* 各轴移动平台运动方式都采用线性交叉滚柱培林。
* 线性交叉滚柱培林设计提供更大荷重量和更高度和直线性的功能。
* 和交叉滚柱培林接触的轨道由抛光的轴承钢材研磨制成, 以确保长期使用的平滑度及性。
* 各轴内有一组预压弹簧可阻抗分厘卡头顶端以消除间隙产生。
* 分厘卡头推进平台到所需位置后，旋紧各轴侧面小螺丝旋钮 (Y 轴无) 予以固定之。
* 各轴皆具有粗调和微调功能。
* 粗调: 移动距离：8mm，移动解析度1μm。
* 微调: 移动距离：300μm，移动解析度：20nm ( 非线性)。
* 角度偏差：各轴在分厘卡头所推进平台移动时上下摆动量(pitch) <25 弧秒(arcsec)；在分厘卡头所推进平台移动时左右摆动量(yaw) <15 弧秒(arcsec)。
* 工作台面上有 M6 (1/4-20) 和 M4 (8-32) 两种螺纹牙，底板上有单向长槽孔方便固定于光学桌，面包板和其他元件上。
* 适合长期平滑及稳定的需求。
* 可忽略不计间隙 (backlash) 的螺旋测微器 ( 分厘卡头)。
* 大荷重：15Kgs。
* 在主动/ 被动光纤元件对准调校上有着极为优异的表现。
* 有左手、右手操作方式两种选择。
* 随产品附雷射干涉仪检验报告。
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Model |
Travel Range |
W(kgs) |
|
Metric(mm) |
06FAS-3LNM |
Coarse : 8mm Fine : 300um |
1.33 |
06FAS-3RNM |
Coarse : 8mm Fine : 300um |
1.33 |
|
English(inch) |
06FAS-3LN |
Coarse : 8mm Fine : 300um |
1.33 |
06FAS-3RN |
Coarse : 8mm Fine : 300um |
1.33 |
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15933752505