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准分子腔输出耦合器（XOC）
? 193nm、248nm、308nm准分子激光光学的输出耦合器(腔内)
?氟化钙或氟化镁（基片）
有193nm，248nmm和308nm准分子激光器。这些波长在微光刻、微型制造和医疗设备中都能找到应用。在这些波长下，推荐使用氟化钙或氟化镁基片用于腔内透射光学元件。 后腔镜在激光波长处提供至少99.5％的反射率。 输出耦合器反射率可以由用户指。 请注意，Lambda的高质量准分子激光腔体涂层是为抗酸/氟而设计的。
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材质 |
UV grade MgF2 |
表面质量： |
< 20 / 10 |
表面平整度： |
< λ / 10 @ 633 nm |
直径公差： |
< + 0.00 / - 0.20 mm |
厚度公差: |
< ± 0.25 mm |
通光孔径： |
> 85% of diameter |
损伤阈值： |
> 1.2 J /cm2, 10 ns |
耐用性： |
Meet adhesion and abrasion per MIL-C-675 |
15933752505