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准分子增强铝膜反射镜（XER）
?Enhanced reflectance at Excimer wavelengths
?在准分子波长处增强反射率
材质 |
UV grade Fused Silica |
表面质量： |
< 10/5 |
表面平整度： |
< λ / 10 @ 633 nm |
直径公差： |
< + 0.00 / - 0.20 mm |
厚度公差： |
< ± 0.25 mm |
通光孔径： |
> 85% of diameter |
斜角： |
0.35 mm (typical) x 45° |
涂层： |
Enhanced Aluminum |
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