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ScienceEdge |
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激光焦点轮廓仪（LFP）
测量仪器
LFP 以 40 纳米的分辨率测量衍射极限焦点处的强度分布。
世界上首款揭示任何激光设备的性能和像差的纳米级光束轮廓仪。
概览
激光焦点轮廓仪（LFP）是用于测量激光焦点附近强度分布的精密测量仪器。LFP 是世界上首款也是独一无二的产品，能够测量由高数值孔径（NA）透镜形成的超细焦点。
激光焦点附近的强度分布是许多激光微/纳米技术的关键性能指标。它评估激光显微镜的空间分辨率、激光束加工的效率、光学数据存储的记录密度、基于光镊的力测量系统的弹簧常数、显微镜物镜的性能。
使用 CCD/CMOS 相机的光束轮廓仪作为商业产品，可用于传播激光束横截面的强度分析。然而，由于像素尺寸大（至少超过一微米）导致的空间分辨率有限，很难直接应用于带有显微镜物镜的激光焦点。要将此轮廓仪应用于小于像素尺寸的焦点，需要用光学元件放大焦点并将其成像在探测器上。然而，这种放大方法可能会引入不想要的像差；很难对准，并且要求放大光学元件具有比用于聚焦激光束的更高的 。
刀刃法是另一种已被提出的原位技术，但由于刀刃的锋利度、伪影等若干原因，尚未针对小激光焦点实现商业化。
LFP 利用 40 纳米大小的金纳米粒子，能够高精度地测量仅有几百纳米的高数值孔径（~1.4）透镜的焦点。
特点
独一性
高分辨率（40 纳米；纳米粒子的大小）
适用于高数值孔径聚焦透镜（～1.4）
高度为 26 毫米的紧凑型传感器，可在显微镜载物台上操作
无需调整
精确测量原理（完全无像差，最小化伪影）
三维测量
应用
激光显微镜
激光加工
激光制造
光学存储器
光镊
光学装置整体
包括液体浸没透镜在内的各种显微镜物镜
规格
零件清单
包括消耗性探头的 LFP 传感器
扫描仪（如果您选择）
控制器
笔记本电脑
电缆
LFP 传感器
扫描仪
控制器
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