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| 品牌 |
IWAKI |
是否进口 |
是 |
| 产地 |
日本 |
|
FS系列气动风囊泵，是IWAKI在积累多年的经验和成果的基础上应用高度的专有技术开发而成的。 通过增加泵的冲程速度，减小了产品尺寸、降低了产品重量及制造成本。 FS系列泵操作方便，液温范围大。 泵的心脏部采用通用R型风囊，实现了高压吐出，确保了长寿命。 FS系列可胜任各种艰巨任务： 从清洗液循环和CMP研磨液循环及化学液体的供给。 高速冲程 液温范围大/高压吐出 通过增加泵的冲程速度(可达240spm)，减小了尺寸、降低了重 由于可在5～180℃的温度范围内输送液体，且吐出压力达0.45MPa， 量及制造成本，同时减少了脉动。 因而该系列泵不仅可用于清洗及CMP研磨工艺，还可用于化学液体 注：泵的冲程视型号而定。详情请参见规格一览表。 的供给。 设计 设备维护 所有与液体接触的零件都采用氟树脂制成。这样设计的目的是 接近开关可在不拆卸泵的情况下更换，无需定期紧固双头螺栓， 为了确保泵的金属部分不会暴露于液体。泵的外表面也涂有氟树 减少了停机时间。 传感器驱动方式 该泵通过内置接近开关传送信号使电磁阀转向。 因此，与各种控制器连接后，可方便地控制或管理吐出。
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