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| 纯度 |
一级品多种 |
厚度 |
不同规格 |
| 颜色 |
多种可定制 |
透光率 |
高峰值98% |
| 耐热性 |
耐温>500度 |
|
单晶膜的另一个极端是高无序的无定型膜,形成无定型膜的条件是低的表面迁移率,降低吸附原子表面迁移率的方法也有三:
一是降低基板温度。例如,对硫化物和卤化物等温度低于77K的基板上可以形成无定型膜;
二是引进反映气体。例如:在pa的氧气压中,蒸发铝、镓、铟等超导膜,由于氧化层阻碍了晶粒生长而形成无定型膜;
三是掺杂。例如:与掺杂,由于原子尺寸不同而形成的无定型膜。
多晶膜的制备最简单。用真空蒸发或溅射制成的薄膜,都是通过岛状结构生长起来的,必然产生很多晶界,形成多晶结构。通常在多晶膜中,也常常出现块状材料中不曾出现的亚稳结构,造成亚稳结构的原因可能是淀积条件,也可能是基板、电场或磁场引起的。
同时,应当指出的是,淀积条件对膜晶结构的生长具有重要影响,图2是真空蒸发锗膜的例子。
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