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| 纯度 |
一级品多种 |
厚度 |
不同规格 |
| 颜色 |
多种可定制 |
透光率 |
高峰值98% |
| 耐热性 |
耐温>500度 |
|
今天介绍薄膜的成分,不同薄膜所用材料不尽相同,所以薄膜成分也就多种多样,然而分析方法确实千篇一律。
薄膜材料经过固相-液相-气相-固相或固相-气相-固相转化后在基板上凝固而成,因此不仅微观结构和晶体结构,而且薄膜成分都会与块状材料不尽相同。
绝大多数金属都是以原子形式蒸发的,但对一些半导体以及半金属,它们多是以2个或2个以上的原子集合体蒸发的。
就Sb(锑)而言,Sb的四个原子都以4个相似的共价键相结合,故Sb膜中主要含有,同时混有少量的和Sb;
As(砷)主要含有和;
Bi(铋)和Te(碲)主要含有和;
C(碳)、Ge(锗)、Se(硒)、Si(硅)等中也都有类似的集合体。
化合物的情况更复杂。
对于硫属化合物,蒸发时材料是分解的,例如:。但它们在基板上又重新化合了,因而仍能得到化学计量和化学计量一致的膜层。
CdS(硫化镉)蒸汽分解时,可以得到Cd与S、、、。失硫现象比硫化锌严重。
同时,氟化物也引起了不同程度度的失氟,下表1是几种氟化物的失氟情况。
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