名称：刻蚀清洗机 工作环境：室内放置；
骨架：不锈钢骨架，外包 3mmPP 板防腐焊接而成； l 外壳：德国进口 10mm 瓷白 PP 板热焊接而成； l 防护门：正面操作侧采用透明上下推拉门； l 管路：管路位于机台下后部，以节省空间，采用英制接口； l 药液回收区位于设备左后下部； l 设备 2# 与 3# 处有活动推拉挡板； l 排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量调节装置； l 工作照明：机台上方配照明（与工作区隔离）； l DI/N2 GUN ：可伸缩的 N2 Gun 和 DI 水枪各把，置于右侧； l 台面板为德国 10mm PP 板（带有漏液孔）； l 人机界面： Touch Screen 彩**面； l 支脚：有滑轮装置和固定装置，可调整高度和锁定；
PLC 可程式控制器（欧姆龙）＋ Touch Screen 彩色人机界面操作。 l 制程参数皆采用可设定、修改、记忆制程模式； l 操作模式可分为自动 / 手动 / 编辑 / 维修。 l 配有独立配电箱，电路区进行功能分块，强电、弱电块，以便于维护； l 具 Password 功能以避免操作人员误改参数： Password-1. 启动及可进入自动模式內容。 Password-2 可进入手动模式。 Password-3 可进入编辑模式修改制程参数。
设备采用耐腐蚀导线并通过 PE 管进行保护，防腐防水； l 设有防漏电断路保护装置； l 电控部分正压空体保护，防水防腐； l 设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统； l 药液回收区配有独立抽风，和底部滑动滚轮，便于拿放回收桶； l EMO 装置紧急按钮开关； l 蜂鸣器声鸣提示工作完成，三色灯及蜂鸣声光故障报警； l 机台底部设有防漏盘及漏液感知； l 液位异常感知 / 安全液位保护； l 配有加熱保护；
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