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光氧等离子设备和技术是在原电晕放电基础上由高频高压电场通过_放电产生的新一代低温等离子体技术具有能量高、电子发射密度高等特点。
工作原理：在放电过程中，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，当污染物分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，污染物分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，同时产生的大量 OH、HO、O等活性自由基和氧化性极强的 O，能与有害气体分子发生化学反应，而后生成无害产物。
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