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蔡司扫描电镜EVO18是一台能分辨应用的扫描电子显微镜。系统采用多接口的样品室和物镜设计,提供真空成像功能,可对各种材料表面作分析。并且能够实现X射线分析条件,样品台为五轴控制。标准的无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和成像分析。 蔡司电镜技术电子光学前身为LEO品牌,更早则是Cambridge和ZEISS。1965年推出“商业化“扫描电镜;1985年才推出数字化扫描电镜。其电子光学产品包括钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、同步双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等。

1.束流稳定,与电子探针相似蔡司的扫描电镜配有自动法拉第笼。它安装在扫描电镜的镜筒内,由气动控制其进出,用以直接测量电子束流。镜筒内还含有闭环反馈控制系统,以便对电子束流进行精确控制。其电子束流的稳定度优于0.2%/h,接近电子探针的水平。此外,束流稳定,能进行能谱分析,特别是波谱仪的分析工作(如果将来购买的话)。
2.Optibeam透镜:-----五种观察模式的电子光学系统其扫描电镜具有电子光学系统,在电子束对中、消像散、调焦等方面独具特色。蔡司扫描电镜的每个镜筒均独立供电所以可提供五种观察模式:分辨率模式、大景深模式、广角模式、分析模式,鱼眼模式。分辨率模式有利于高分辨率图像的观察;大景深模式有利于非常粗糙样品和大斜面样品的观察;ZEISS束流很大可以到5uA,所以景深度高。广角模式使得观察的范围很大,最小放大倍数仅为五倍;而分析模式用于能谱波谱分析。鱼眼模式可同时观察九桩样品座的全貌。大景深模式
3.设计优化无需复杂附件ZEISS EVO系列已经不需要冷却系统,冷却系统的需求与E-beam的使用率有关,如果利用率低耗散会较大需要冷却,Zeiss对电子束利用率很高耗散很少所以不需要冷却.而且本身电子束耗散大的话对Column也是一种损耗,会影响仪器寿命.所以Zeiss可以减少这些对仪器的不必要的损耗.所以也不需要空压机等附件,使用方便。其他厂家都需要空压机与冷却系统。
4.低真空技术卓越的低真空二次电子探头解决了不导电样品在不做导电处理的情况下在低真空环境下的二次电子像问题。目前在低真空环境下普遍使用背散射电子探头来获取图像,但是背散射电子信号并不能很真实的反映样品表面的形貌信息,所以能够直接用二次电子信号成像是低真空二次电子探头在反映样品表面形貌信息时优势。