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地址: 广东东莞市万江区万江街道蚬涌思美特科技园
| 型号 |
DGBX96 |
用途类型 |
工业洁净室 |
| 气流类型 |
非单向流/乱流 |
净化级别 |
万 |
| 加工定制 |
是 |
平均风速 |
0.781m/s |
| 风量 |
47903m3/h |
噪声 |
42dBA |
| 功率 |
50897W |
工作区尺寸 |
可定制 |
| 外形尺寸 |
各种尺寸mm |
重量 |
2235kg |
| 产地 |
东莞 |
厂家 |
东莞市博信空调净化科技有限公司 |
2016至2018年,国内半导体、显示面板等行业掀起了一阵投资建厂的热潮,也带动对无尘车间系统工程的整体市场需求,在半导体关键核心技术和“卡脖子”领域,国内正在全力打造集成电路创新高地,而影响半导体生产的关键因素之一就是洁净的生产环境,洁净室环境将直接影响芯片制程工艺的良品率。
半导体器件的生产对生产环境要求很严,其涉及数百个制造工序,由于其生产技术的特殊性,它对生产环境,如温度、湿度,洁净度都有严格要求,这关系到晶圆生产的质量和寿命。半导体器件,尤其是高密度的集成电路,易受到各种污染的损害。半导体器件对污染的敏感度取决于较小的特征图形的尺寸和晶片表面沉积层的薄度。
净化工程的设计、施工、安装、维护等一定按照国际标准化组织的相关标准规范进行,必须做到无尘、无菌、节能、防火。
净化工程所特别设计的房间,不论外在空气前提如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等机能。而控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中出产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。
但空气中本就充满着尘埃,细小到肉眼不可见,而在半导体制程中,空间单位都是以微米计算,这些尘埃对于每个晶体管的体积就属于较大颗粒,如若这些微粒黏附在制作半导体的晶圆上,可能会影响其精密的导线布局,破坏半导体器件的导电性能,造成电性短路或断路。因此要保证半导体生产的良品率,必须要保证其生产环境的洁净度。
洁净室的洁净度是以每立方米(或每立方英尺)空气中的允许粒子数来确定,一般分为10级、100级、1000级、10000级及100000级。在工程上,一般是利用室内空气的循环来保持生产区域的洁净等级,空气在严格控制温度、湿度的前提下,经过过滤器过滤后进入洁净室,而室内空气经过回风系统离开洁净室,再经过过滤器过滤后重新进入到洁净室。
要达到洁净室洁净度的必要条件:
1.送风洁净度:要保证送风洁净度,需按照实际需求选配并安装净化系统所需的空气过滤器,尤其是末端过滤器,一般100万级可选用高中效过滤器,低于1万级可选用亚高效或高效过滤器,1万到100级可选用过滤效率≥99.9%的高效过滤器,100-1级可选用过滤效率≥99.999%的过滤器;
2.气流组织:需根据洁净室特性、净化系统特性等选择合适的送风方式,不同的送风方式各有利弊,需根据实际需求设计;