硅胶片表面体积电阻测试仪

硅胶片表面体积电阻测试仪

硅胶片表面体积电阻测试仪

　　一.导体材料电阻率测试仪GB/T 11073硅片径向电阻率变化的测量方法提要探针与试样压力分为小于0.3N及0.3 Nˉ0.8N两种。

　　二.概述：采用四端测量法适用于生产企业、高等院校、科研部门，实验室；是检验和分析导体材料和半导体材料质量的工具。可配置不同测量装置测试不同类型材料之电阻率。

　　三.四探针双电方阻测试步骤：

　　1.依据不同之测试样品，选择被测试电流，电流设置：按方向键移动光标至“电流”功能，按“设置”键进入；再按“左右”方向键选择电流数据，选择完毕后按“确定”键进行确认。

　　2.按照以上步骤和方法选择电压、长度单位、探针形状设定、温度.

　　3.探针间距数据的输入，探针间距出厂时已经标定，无需再次测量，探针头上有详细的探针数据资料，探针间距的设置：将光标移动至“探针间距”按“设置”键进入，通过面板上面的“数字”按键输入数据按“确定”键进行确认；按照以上方法和步骤设定”厚度“，注意厚度和探针间距修正系数表已经设置在仪器程序中，自动修正，无需再次输入和查询表格。

　　4.测试探头和测试平台操作

　　1）选配测试平台的将被测物放在测试平台上，调节探头探针与样品良好接触，探头有二种，一种是探针是弹簧针型，一种是硬针而探头内腔有弹簧；

　　2）探头有方型和直线型两种结构；调节测试平台上的水平定位角，保证水平仪水准在中心位置；放置好被测物品，后压下探头至被测物，带数据稳定后读取方阻测试时，在测试时电流的选择也不同

　　3）根据国标GB/T1552-1995和根据ASTM F374-84方法测量方块电阻所需要的电流值如下表所示

　　方块电阻（Ω/□）：0---1.2 电流量程：100mA

　　方块电阻（Ω/□）：1---25 电流量程：10 mA

　　方块电阻（Ω/□）：20---250 电流量程：1 mA

　　方块电阻（Ω/□）：200---2500 电流量程：100μA

　　方块电阻（Ω/□）：2000---25000 电流量程：10μA

　　方块电阻（Ω/□）：20000---250000 电流量程：1μA

　　方块电阻（Ω/□）：>200000 电流量程：0.1μA

　　四.维护和保养

　　1.使用者的维护为了防止意外发生，请不要接触机内部件。本机器内部所有的零件，不需使用者的维护。如果机器有异常情况发生，请直接与百川宏宇仪器公司联系或其的经销商给予维护。

　　2.使用者的修改使用者不得自行更改机器的线路或零件，如被更改机器后保修则自动失效并且本公司不负任何事故责任。在保修内使用未经我公司认可的零件或附件造成故障也不予保证。如发现送回检修的机器被更改，将机器的电路和零件修复回原来设计的状态，并收取修护费用。

　　3.测试工作站工作位置工作站的位置选择必须安排在一般人员非必经的处所，使非工作人员选离工作站。如果因为条件限制的安排而无法做到时，必须将工作站与其这它设施隔开并且特别标明“测试工作站”。如果工作站与其它作业站非常接近时，必须特别注意安全的问题。在测试时必须标明“测试执行中，非工作人员请勿靠近” 。

　　4.输入电源输入：220V±10% 使用频率：50Hz。

　　5.工作场所尽可能使用非导电的工作桌工作台。操作人员和待测物之间不得使用任何金属。操作人员的位置不得有跨越待测物去操作或调整测试仪器的现象。

　　6.测试场所必须随时保持整齐、干净，不得杂乱无章。测试站及其周边之空气中不能含有可燃气体或在易燃物质。

　　五.仪器安装要点：

　　1.拆封和检查产品是包装在一个使用木箱泡绵保护的包装箱内，如果收到时的包装箱有破损，请检查机器的外观是否有无变形、刮伤、或面板损坏等。如果有损坏，请立即通知制造厂或其经销商。并请保留包装箱和泡绵，以便了解发生的原因。我们的服务中心会帮您解决。

　　2.在未通知制造厂或其经销商前，请勿立即退回产品。

　　3.使用前的准备 输入电压输入220V，有稳定的电流和电压环境

　　使用的周围环境条件

　　易燃易爆空气环境

　　不稳定的工作台面.

　　阳光直射的地方.

　　潮湿的地方.

　　腐蚀性的空气环境.

　　空气污染灰尘重.

　　4.储存和运输：

　　周围温度：10°到60°C

　　高度：7620公尺（25000英尺）

　　5.本机必须避免温度的急剧变化，温度急剧变化可能会使水气凝结于机体内部。

　　六.原始包装：

　　请保留所有的原始包装材料，如果机器必须回厂维修，请用原来的包装材料包装。并请先与制造厂的维修中心联络。送修时，请务必将全部的附件一起送回，请注明故障现象和原因。另外，请在包装上注明“易碎品”请小心搬运。