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| 型号 |
关键部件刻蚀静电卡盘翻新维修 |
加工定制 |
否 |
| 类型 |
静电卡盘 |
适用机械 |
半导体制造设备 |
| 用途 |
静电卡盘翻新维修 |
重量 |
1 |
| 产地 |
无锡江阴 |
外形尺寸 |
1 |
| 厂家 |
无锡方克斯 |
|
TEL SPTS ESC关键部件翻新维修 6吋 8吋 12吋静电卡盘 E-CHUCK ESC静电吸盘
设备：
| TEL7400/SPTS沟槽刻蚀机 |
ESC类型：
6" Notch 6" Flat
静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护；静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在保证输出稳定，同时避免高压静电压尖锐击穿。静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护；静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在保证输出稳定，同时避免高压静电压尖锐击穿。
无锡方克斯电子科技有限公司主要从事半导体前道设备的维修翻新服务，进口二手设备的安装调试,设备升级业务，以及备件供应等。
我们基于对国内外多个半导体生产厂商和国外大部分二手半导体设备供应商的全面了解，为客户提供各种的技术服务及设备、工艺解决方案
在公司不断的发展中公司逐步涉及半导体核心零部件国产化替代，重点是静电卡盘（ESC）国产化设计。我们承诺全心全意为半导体生产厂家提供、独特、满意的服务。
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