联系人：李总
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| 型号 |
刻蚀设备翻新维修 |
加工定制 |
是 |
| 半导体材料 |
硅 |
温度设置 |
35 |
| 热压时间 |
1 |
热压精度 |
1 |
| 产能 |
1 |
电源 |
220 |
| 功率 |
600 |
重量 |
1000 |
| 工作气压 |
1 |
产地 |
无锡 |
| 厂家 |
无锡方克斯 |
|
厂商：Lam设备型号：
Rainbow 4420
晶圆尺寸：
4“、5”、6“、8”
电极类型：
clamp or ESC
典型工艺：
Poly etch
Nitride etch
Poly etch产品说明
我公司可提供销售、翻新、安装、调试、维修、维护、备件服务
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