扫描电镜主动减振系统WVIB-JZX-1000电镜减振台青岛浩正

　　WVIB-JZX-1000主动减振系统

　　仪器名称：主动减振系统、

　　仪器型号：WVIB-JZX-1000

　　中国区：青岛浩正科仪智能技术有限公司

　　 一、用途

　　解决振动尤其是低频振动对电镜图像造成干扰的问题。

　　二、工作环境条件

　　2.1 环境温度/湿度：5～40℃/20%～80% R.H

　　2.2 供电电源：交流电源220V±10%,50Hz

　　2.3 地线要求：需安全接地线

　　三、技术指标：

　　3.1 减振平台安装尺寸（长×宽×高）：1130×902×200（mm）（可以根据不同电镜定制），减振平台重量：190kg；

　　3.2 主动减振带宽：：0.5Hz至100Hz；

　　3.3 产生磁场强度：≤0.3mGpkpk；

　　3.4 静息时间：300ms；

　　3.5 平台负载重量：300kg至1500kg；

　　3.6 减振效果：从0.5Hz开始有减振效果；到2Hz，水平和垂直两个方向均达到-20dB的衰减（90%衰减）；

　　3.7 控制自由度：6；

　　※3.8控制方式：含前馈的双重主动控制；

　　3.9执行单元：直线电机；

　　3.10推力常数：80N/Amp；

　　※3.11压缩空气：不需要；

　　3.12安装/调试：由研发工程师现场针对性安装、调试；

　　3.13适用机型：用于SEM、FIB、Dual Beam机台等。

　　四、配置清单

　　4.1 台式减振平台，1台

　　4.2 减振控制器，1个

　　4.3 传感器电缆线（带25芯D型插头），1根

　　4.4 电机电缆线（带37芯D型插头），1根

　　4.5 控制器电源线（3芯），1根

　　五、技术资料

　　中文产品说明书1套。

　　六、技术支持和服务要求

　　6.1提供送货上门服务，货物到达用户现场后，在收到用户通知后7天内派遣合格的技术人员前往用户现场进行安装调试，按验收指标逐项测试，直至达到验收要求。设备安装调试需在接到用户通知后15日内完成。

　　6.2在安装验收期间，在现场对用户进行免费培训，培训内容包括：工作原理，设备结构，仪器操作（包括控制器操作、面板操作、常见故障原因及排除），主要部件用途和日常维护保养等。承诺至少培训一位用户能完全独立操作、使用设备。

　　6.3保修期：保修期一年，自设备验收合格之日起计算。质保期内对所供设备实行包修、包换、包退、包维护保养。在质保期后，保证长期提供零备件和维修服务，保修期后设备维修配件更换只收取配件和人工成本费用。

　　6.4维修响应时间：负责设备的终身维修，仪器出现问题，在收到用户通知后，24 小时内予以回应、并提出解决方案。如必须现场解决的，两个工作日内安排维修人员到达现场。

　　中国区：青岛浩正科仪智能技术有限公司