导电材料电阻率测试仪BEST-300C

　　导电材料电阻率测试仪BEST-300C（1.0×10-6 ～ 20.00×103Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω）

　　技术参数测量范围、分辨率（括号内为拓展量程，可定制）

　　探针间距

　　外形尺寸：

　　主机 245mm（长）×220 mm（宽）×95mm（高）

　　型号及参数：

　　标配外（选购）：

　　测量数据

　　双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计参照单晶硅物理测试方法并参考美国 A.S.T.M 标准。

　　电阻率范围 10-6～2×106Ω-cm 10-7～2×106Ω-cm 10-5～2×108Ω-cm

　　四探针测试探头：

　　测试准备：

　　误差 ≤3%（标准样片结果 ≤15%

　　本产品不但提供了电阻率ρ、方块电阻R口以及体电阻R测试的基本修正系数设定，还提供了产品厚度G、外形和测试位置的修正系数D设定，极大的提高了测试精度。测试类别的快捷选择方式，方便了用户同时测试多个参数，提高测试效率。

　　本仪器工作条件为：

　　方块电阻：薄膜类导体、半导体材料截成薄层正方形时，平行对边间的电阻值只与材料的类别（电阻率）和厚度有关，而与正方形边长无关，这种单位面积的对边间的阻值可反映薄膜的导电特性和厚度信息，称为方块电阻，简称方阻。记为：R□，标准单位：Ω/□

　　温度精度 冲温值：≤1-3℃；控温精度：±1°C

　　探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。

　　SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.

　　方块电阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103 Ω/□

　　有选配的型号确定，详见《不同半导体材料电阻率/方阻测试的四探针探头和测试台选配方法》

　　仪器具有测量范围宽、精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、外形美观、使用简便等特点。

　　温度： 0-40℃

　　方块电阻范围 10-5～2×105Ω 10-6～2×105Ω 10-4～1×107Ω

　　直径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限

　　BEST-300C测试仪能够测量半导体材料体电阻率ρ、方块电阻（薄片电阻率）R口以及体电阻R，测量时需调整相应的修正系数和选择相应的功能。

　　供电：400-1200℃ 电源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃电源380V；功率9KW：

　　四探针仪工作电源 AC 220V±10%.50Hz <30W

　　直线型探针，探针中心间距：4mm；样品要求大于13mm直径

　　测试电流范围 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA 10mA?---200pA

　　常温 --400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃

　　配套方案：解决各材料状态 --固态、液态、气态、颗粒状 电阻、电阻率、电导率测量

　　温度(选购)

　　长(高)度： 测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.

　　仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

　　量程： 20.00mV

　　PC软件

　　气氛保护（气体客户自备） 常用气体如下：氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均为无色、无臭、气态的单原子分子

　　规格型号 FT-351A FT-351B FT-351C

　　工作室内应无强电磁场干扰，不与高频设备共用电源。

　　电极材料 钨电极或钼电极

　　测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！

　　高温电源：

　　电流输出：直流电流0.1μA～1.0A，系统自动调整。

　　电阻率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω-cm

　　大分辨力：1.0μV

　　误差：±0.2%FSB±2LSB

　　数字电压表：

　　电流精度 ±0.1%读数 ±0.1读数 ±2%

　　误差：±0.2%FSB±2LSB

　　显示: 4位数字显示，小数点自动显示

　　电阻精度 ≤0.3% ≤0.3% ≤10%

　　用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.

　　电阻率：当某种材料截成正方体时，平行对面间的电阻值只与材料的类别有关，而与正方形边长无关，这种单位体积的阻值可反映材料的导电特性，称为电阻率（体电阻率），记为：ρ，标准单位：Ω-m,常用单位Ω-cm.

　　相对湿度： ≥60%

　　测试方式 双电测量

　　材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)

　　在设定模式下（设定完毕，保存好数据后），选择测量类别（电阻率ρ、方块电阻（薄片电阻率）R口或体电阻R中三选切换仪器到“测量”模式，窗口左侧“测量”模式灯亮。电阻测量,注意良好接触，电压测试端在内侧；半导体参数测试，将探针与样品良好接触，注意压力要适中；由数字显示窗直接读出测量值。

　　电阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω

　　（1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm）

　　高温材料 采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征

　　一.BEST-351高温四探针电阻率测试系统概述：

　　数控恒流源

　　电脑和打印机1套；2.标准电阻1-5个

　　二.适用行业：:

　　升温速度： 常温开始400℃--800℃需要15分钟；800℃-1200℃需要30分钟；1400℃-1600℃需要250分钟—300分钟

　　对于电阻器类样品，用四端子测试线按照图5-1连接好样品，对于半导体材料，测试前表面应进行必要的处理。如图5-2，对于硅材料要进行喷砂或清洁处理，对于薄膜类的要保持表面清洁，必要的要进行清洁。样品放在平整的台面上。将测试探头的插头与主机的输入插座连接起来，连接好探头和主机。将电源开关置于开启位置，数字显示亮。仪器醉好预热15分钟以上，增加读数稳定性。

　　操作概述：

　　PC软件界面 显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率

　　电源：功 耗：< 15W，输入:220V±10% 50Hz±2%

　　（5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω/□）

　　主机主要由数控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。自动/手动量程可选；电阻率、方阻、电阻测试类别快捷切换：仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入，简便可靠；具有零位、满度自校功能；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电锂电池供电，适合手持式变动场合操作使用！

　　采用四探针双电组合测量方法测试方阻和电阻率系统与高温箱结合配置高温四探针测试探针治具与PC软件对数据的处理和测量控制，解决半导体材料的电导率对温度变化测量要求，软件实时绘制出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线图谱，及过程数据值的报表分析.