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紫外氘灯光源(116-400nm)
真空紫外光源，辐照强度超高。由于使用了空气制冷结构和真空法兰安装，该产品现在更易于操作。常作为半导体检测、薄膜厚度测量、静电去除器、光谱学、环境计量、光学元件检测、材料抗紫外性测试和激发光源等。
产品特点：
高稳定度
波动0.05 %p-p (Max.)
漂移 +/- 0.3 %h (Max.)
长寿命：1000h保修
空气制冷（无需制冷水）
外部控制
可更换灯管
光谱曲线：
技术参数：
| 型号 | 窗口 | 光谱范围 | 有效直径 | 输出稳定度漂移(值) | 输出稳定度波动(峰-峰, 典型值) | 开始放电电压 | 阳极电流 | 管压（典型值） | 寿命 |
| VUV6565 | UV glass | 185-400nm | 1mm | ±0.3%/h | 0.005% | 350mA | 300±30mA | 80V | 4000h |
| VUV6301 | UV glass | 185-400nm | 0.5mm | ±0.3%/h | 0.005% | 400mA | 2000h | ||
| VUV7290 | Synthetic silica | 160-400nm | |||||||
| VUV6311 | UV glass | 185-400nm | |||||||
| VUV7292 | MgF2 | 115-400nm | 1mm | / | / | 350mA | 2000h |
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