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MOCVD工艺(GaAs&GaN)产生粉末和颗粒以砷和其他生产碎片的形式存在,可能会对昂贵的真空泵设备造成意想不到的重大损害。需要适当的过滤以避免泵受到污染。泵的污染会导致较低的产量和较高的维护成本,包括可能的泵故障。得体和独特的生产配方也可以增加潜在的停机时间。
MOCVD过滤器过滤材料选用无纺布,具有耐高温和无吸收水性,无需进行预真空处理即可吸收蒸汽,节省时间和金钱。
CT500过滤器选用特殊玻璃纤维过滤材料,间隙均匀,透气,大压差大,耐高温