半导体工业用洁净型放大器内置压力传感器
· 電解研磨仕上げおよび、精密洗浄処理
· VCR?UJR継手の1/4,3/8, 1/2およびオネジ?メネジに対応
· 接液部材質にSUS316L(VIM+VAR)を用いた耐腐食構造
| 測定媒体
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各種ガス?液体などSUS316Lを腐食させない媒体
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測定種類
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正圧?連成圧の測定が可能
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測定範囲
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定格容量0.3～20 MPaの範囲でご指定可能です また、-0.1～1MPaなどの連成圧での校正も可能です
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出力種類
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4～20mA(2線式),1～5V,0～5V,0～10Vからご指定ください
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仕様
| 精度
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±0.4%R.C.(0.3MPa:±0.6%R.C.)
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温度補償範囲(測定媒体温度)
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0～60℃(結露、氷結不可)
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許容温度範囲(測定媒体温度)
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0～80℃(結露、氷結不可)
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温度ドリフト
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±0.5%R.C./10℃
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許容過負荷
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200%R.C.(20MPa:150%R.C.)
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リーク量
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1×10-10Pa?m3/sec.以下
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受圧接液部材質
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SUS316L(VIM+VAR) VIM:真空誘導溶解法 VAR:真空アーク溶解法
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シール方法
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特殊電子ビーム溶接
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接液部表面仕上げ
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電解研磨(Ra0.3μm以下)および精密洗浄
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継手形状
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VCR対応1/4?3/8?1/2オネジまたはメネジ UJR対応1/4?3/8?1/2オネジまたはメネジ
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ケーブル
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PVC被覆4芯(電流タイプは2芯)シールド 3m(UL規格対応品) 直出しまたはコネクタ接続
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質量
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約280g(ケーブル3m含む)
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付属品
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取扱説明書1部(和文または英文をご指定ください) 試験成績書1部
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18500167825