英微米光学镜面颗粒计数器U-III

　　UK MICRON OPTOELECTRONICS推出U-III表面粒子计数器：突破0.1微米检测极限，重新定义半导体洁净度标准。

　　2025年3月6日——全球的光电技术企业UK MICRON OPTOELECTRONICS正式发布全新升级的U-III表面粒子计数器。该产品专为高洁净度制造场景设计，采用性激光传感技术与智能采样系统，可检测0.1微米级表面颗粒污染，助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。

　　核心技术创新

　　纳米级检测能力

　　U-III搭载HeNe激光传感器，分辨率达0.1微米，支持0.1-5.0微米颗粒粒径的六通道分类统计（0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm），覆盖半导体制造中对超细微粒的严苛检测需求。

　　静态采样模式：通过优化气流控制，减少测量误差，提升数据稳定性。

　　智能化设计与操作体验

　　7英寸高分辨率触控屏：支持实时数据可视化与交互操作，简化流程。

　　双电池热插拔系统?：支持连续生产场景下的不间断作业，电池更换无需停机。

　　USB数据接口与软件升级?：便捷导出检测报告，并可通过固件更新持续优化性能。

　　该系列设备通过量化表面污染数据，为半导体制造中的过程控制提供标准化依据，从而优化生产良率和产品可靠性。

　　传感器：第七代双激光窄光检测器，寿命>200000次

　　测量粒径：A 0.3um、2.5um、10um；

　　B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；

　　C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；

　　D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；

　　E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；

　　F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

　　粒径分布误差：≤±30%

　　浓度示值误差：≤±30%

　　重复相对偏差：≤±10%FS

　　重叠误差：当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%

　　气体检测：可同时检测气体浓度，支持1-3个各种类型的气体传感器

　　温度范围：-40 ～ 120℃

　　检定标准：计数报告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008

　　气泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可选）；

　　采样时间：3、6、9、12、15、30、60秒（可选）；

　　检测模式：数量模式；质量模式； 净效模式；三种检测模式可切换

　　检测方式：定时检测、循环检测可设置

　　报警方式：自定义数量报警值、质量报警值

　　限值报警：RS485信号报警或外接声光

　　法 规 性：权限管控、审计追踪、电子记录等

　　合 规 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921