Simco-Ion 5635 MP离子风棒

　　Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和的离子平衡，是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5635MP 离子棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和的参数调整，使它达到超越 ISO Class 1 洁净水平的

　　“Extended ISO Class 1”洁净度，适合更微小的先进技术制程。选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更远的工作距离。

　　Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时，静电针的间距是 5 cm，这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。

　　Simco-Ion 5635 MP离子风棒技术参数

　　输入电压：24 VDC ±10%

　　输出电压：13.5 kV p-p (max)，可调

　　工作距离：由 15 cm 至 100 cm，根据应用需求或客户规格决定

　　脉冲定频：由 1 Hz 至 33 Hz，可调，默认设定 - 5 Hz

　　平衡电压：自动平衡系统，在可控环境下，整根棒能长期保持在 <±20V @61 cm 工作距离。

　　电离技术调制脉冲 (MP) 技术

　　静电针材质单晶硅

　　风嘴间距：可选 50 mm 或 75 mm；棒长 450 mm 和 600 mm 只可选 50 mm

　　工作效能：15 秒 (典型)，Vp-p 摆幅 - 80 Vp-p @ (没有吹气辅助，在棒中下面 61 cm 工作距离)

　　符合洁净度兼容 ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒) 和 ISO 14644-1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度 (输出功率：45-50%)

　　供气要求：CDA (清洁干燥压缩空气) 或 氮气

　　气压要求：45 psi ()；由选配的 8 mm 外径快速接口接入，每个风嘴输出 1-3.5 litre/min 的风量