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简 介
5635型MP离子风棒，是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。
特点：
Ø 采用在世界上无与伦比的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。
Ø 通过独特的MP（脉冲调制）方式，可以有效的发挥离子除电性能。
Ø 平衡的电位，即使是在距100mm的距离也可用使用的特性及静电杆长且离子平衡度好。
Ø 通过智能控制电路，可自动管理离子发生状态及离子平衡度。
Ø 1/4圈可以拆卸更换电极，有助于减少维护工时。
Ø 电位波动小的MP方式的特性，简化了组装。另外，电位波动小可以保持离子平衡度在管理的基准内。
Ø 设定了适合半导体前工序EFEM用的除静电棒长度。
Ø 内置24V DC驱动控制器的小巧紧湊型设计。
Ø 可用于全球高层次网络。
产 品 规 格
输入电压
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24V DC + / -10％
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输出电压
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大可调至约13.5kv PP
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安装距离
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100毫米?1000毫米（无空气净化）
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离子生成方式
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电晕放电法 PM（脉冲变调）方式 变动频率 1 ～ 33 Hz
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离子平衡度
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自动平衡调节方法 <+/-10V内离子风棒直下 根据位置的不同会有差异<+/-10v (600 mm距離）
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电极
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单晶硅电极 可更换
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吹气
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清洁干燥的空气或氮气
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大气压力
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310Kpa
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臭氧产生量
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<0.05PPM（24时总值）
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信号输出
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报警IO 电极输出
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尺寸
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高78mm*宽34mm*t长（如下值） 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 / 1900/2050/2200/2350Mm
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外观
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ABS树脂
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