硅基氮化镓外延生产厂家 6英寸氮化镓晶片

　　硅基氮化镓外延生产厂家 6英寸氮化镓晶片

　　苏州恒迈瑞材料科技有限公司生产的硅基氮化镓外延片尺寸主要有2英寸、4英寸、6英寸及8英寸GaN-on-Si功率电子器件及射频HEMT用外延片产品，第三代半导体硅基氮化镓外延材料产品可应用于电源管理、太阳能逆变器、电动汽车及工业马达驱动等领域。

　　D/E mode硅基氮化镓外延片

　　尺寸：2英寸 4英寸 6英寸 8英寸

　　厚度：675um 1000um 1300um 1500um

　　外延层总厚度：2-5.5um

　　目前适合商用的GaN氮化镓同质衬底的出现尚需时日，因此异质外延的衬底的选择就显的非常重要了。它不仅需要具有非常低的热膨胀系数以及与GaN薄膜生长时较小的晶格失配。同时，它还需要能承受在高温环境下（1000℃左右）不与生长所用化学物质（NH3或H2）反应的特性。在这样的一系列苛刻条件限制下，蓝宝石衬底（Sapphire）和碳化硅（SiC）被开展了广泛的研究。