| 型号 |
6inch |
类型 |
化合物半导体材料 |
| 产品名称 |
碳化硅晶锭 |
牌号 |
导电N型 |
作为三代半导体碳化硅晶锭供应商之一,恒迈瑞公司为金刚石减薄砂轮厂商供应测试D级碳化硅晶锭,涵盖4英寸6英寸及8英寸,目前主流碳化硅晶锭为6英寸。测试D级晶锭价格优惠,适用于金刚石减薄砂轮,研磨砂轮等测试验证,单个厚度20mm左右。碳化硅(SiC)是由碳元素和硅元素组成的一种化合物半导体材料,是制作高温、高频、大功率、高压器件的理想材料之一。相比传统的硅材料(Si),碳化硅的禁带宽度是硅的3倍;导热率为硅的4-5倍;击穿电压为硅的8-10倍;电子饱和漂移速率为硅的2-3倍,满足了现代工业对高功率、高电压、高频率的需求,主要被用于制作高速、高频、大功率及发光电子元器件,下游应用领域包括智能电网、新能源汽车、光伏风电、5G通信等,在功率器件领域,碳化硅二极管、MOSFET已经开始商业化应用。
碳化硅从材料到半导体功率器件会经历单晶生长、晶锭切片、外延生长、晶圆设计、制造、封装等工艺流程。在合成碳化硅粉后,先制作碳化硅晶锭,然后经过切片、打磨、抛光得到碳化硅衬底,经外延生长得到外延片。外延片经过光刻、刻蚀、离子注入、金属钝化等工艺得到碳化硅晶圆,将晶圆切割成die,经过封装得到器件,器件组合在一起放入特殊外壳中组装成模组。