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产品简介
在很多超纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至惊人的-120°C (相当于不到1 ppbV)。
Pura变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。
产品亮点
测量下限-120°C露点(1 ppbV)
测量稳定，重复性好
高度集成的采样装置
模拟和数字输出
安装简便
VCR过程接口
设计紧凑小巧
显示/报警单元可选
技术参数
| 传感器
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传感器类型
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密析尔陶瓷湿度传感器
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量程
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-120 ~ -40°C露点(校验到-100 ~ -40°C)
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精度
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±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
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分辨率
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0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
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压力
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低10-9 torr;24 MPa
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气体流量
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1 ~ 5 Nl/min
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电气
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电源
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通常24 V DC,低10 V ~高28 V ,电流25 mA
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输出
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4-20 mA输出,对应范围可由专用软件调整,调整量程从1 ~ 80°C (标配提供) 负载= 100 Ω + 50 Ω x (V电源-8)
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输出出错状态
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标准输出出错信息如下: 23 mA =传感器故障; 20 mA =超上限; 4 mA =超下限
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机械性能
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传感器套筒
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不锈钢, 0.1-0.2 Ra μm电镀内抛光
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气路连接端口
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Premium或OEM型: ?" m VCR接口 Pura Sensor型: ?" m VCR接口
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安装配置
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Premium或OEM型: 120.00mm长,气路端口的端面密封.无需预留管路空隙 底座上有2个M4 x 0.7, 7mm深的安装孔,斜对面横竖间距均为20 x 20mm Pura Sensor型:适用于用户提供的?" VCR端口中
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尺寸
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Premium或OEM型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor型: 132 x 35mm
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重量
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Premium或OEM型: 450g Pura Sensor型: 180g
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包装
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Pura:双层包装,惰性气体填充密封 Pura OEM或Pura Sensor型:单层包装 所有选配件:独立包装运输 Sensor型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作
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18014968763