说明
高级XY级、带滚珠丝杠规格标度（标准型）
移动方向:XY轴2方向
移动量:±7.5mm
舞台面:40mm×40mm
采用HG-VCL方式的高精度、高刚性的自动舞台。
有精密螺丝规格、滚珠丝杠规格、滚珠丝杠规格标度。
广泛用于相机、传感器、工件等精密定位用途。
标准参数
| 移動方向 | XY軸2方向 |
|---|---|
| 移動量 | ±7.5mm |
| ステージ面 | 40mm×40mm |
| 使用モータ | PK523HPB相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相） |
| 分解能 | 0.002mm |
| 送りねじリード | 1mm |
| 移動ガイド | HG-VCR（V溝とクロスローラ） |
| 移動精度HV | 真直度（水平?垂直）0.002mm |
| 移動精度YP | ヨーイング15sec、ピッチング25sec |
| 位置決め精度 | 0.006mm |
| 繰り返し精度 | ±0.0003mm |
| ロストモーション | 0.001mm |
| 運動の平行度 | 0.03mm |
| XY直交度 | 0.006mm |
| モーメント剛性 | ヨー剛性 0.5sec/N?cm、ピッチ剛性 0.6sec/N?cm、ロール剛性 0.6sec/N?cm |
| 耐荷重 | 39.2N（4kgf） |
| 質量 | 0.7kg |
| 最高速度 | 16mm/s（8,000pps時） |
| 主要材質/表面処理 | アルミ合金／黒アルマイト梨地 |
| 原点センサ | ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ |
| リミットセンサ | ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ |
| 適合ケーブル | ACB-STM2、ACB-STM3 |
| スケール型式 | GSI製マーキュリー（テープスケール、ケーブル3m） |
| スケール分解能 | 5μm～0.05μm |
| スケール精度 | ±60nm/0.02mm |
连接方法——电缆、控制器和驱动程序
传感器的工作原理和时间图
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