| 品牌 |
Olympus/奥林巴斯 |
型号 |
STM7 |
| 测量范围 |
50X-1000X |
测量精度 |
1um |
| 用途 |
金属材料等半导体检测 |
加工定制 |
是 |
| 重量 |
49 |
产地 |
日本 |
| 货号 |
ABST7001 |
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奥林巴斯STM7工具测量显微镜
通过整合光学显微镜的测量能力实现准确测量
多年的显微镜开发经验成就了优异的观察性能
昆山玛基智能科技供应奥林巴斯STM7工具测量显微镜系列采用了当前光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，此外，像差也被完全消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。
作为高度测量的先锋，继续提供简单易操作的高精度3轴测量
| 共聚焦自动对焦系统光路
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随着现代制造技术日益小型化和精密化，很高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量，而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成为成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司，以此响应了这种与日俱增的需求。
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严格的可追溯系统确保品质可靠
奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的准确度。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。
测量显微镜跟踪系统
STM7测量显微镜设计注重易用性
提供载物台以适合眼下的样本大小
[常见问题]
? 短测量行程无法满足较大样品的测量需求。
? 目前为止，大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程，但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程，这样的做法费事费时，效率不高。
? 由于可测量的范围窄，无法将数量较多的样品排列在载物台上，以实现一次性同时测量。
[STM7解决方案]
共有四种独特的正方形测量行程的载物台可供选用，分别为：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的样品还是小的样品，总有一款载物台会适合您要测量的样品。
? 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后，载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动，并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程，这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量，比如300 mm的晶圆和印刷电路板。更多详细内容请咨询昆山玛基智能科技。
控制箱
各个单元的电源和通信均被集成在一个单一的控制箱中。即使是添加一些可选功能比如聚焦导航功能也不需要增加额外的电源装置，这样的设计可以较大程度地减少占用工作空间。
可满足个性化需求自由放置的可拆卸式计数器
无论是安装在镜架上还是放置在工作台上，可拆卸式计数器都可以根据用户的使用状况和使用习惯放置在较佳位置。当用户站
着进行测量时，可以将计数器安装在和观察位置大致相同高度的镜架一侧，以方便轻松的观察和检查结果。当用户通过数码相
机在显示器上进行观察和测量，或使用电动Z轴调焦机型时，只需将计数器和操作装置放在工作台上即可轻松地坐在椅子上进
行作业。
| 计数器安装在镜架上
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计数器放置在工作台上
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单次对焦模式
执行自动聚焦后，可瞬间完成从大致的聚焦状态转为视场中心的清晰对焦。
跟踪模式
启用具有特色的追踪模式后会随样品表面的高低起伏自动对焦，即使在移动工作台的情况下，也可以始终保持合焦状态。这使得操作者在手不需要离开X和Y手柄的情况下也能实施观察，从而极大地提高了Z轴的测量效率。
旋转载物台
使用微调旋钮可以轻松实现对样品的平行对齐。
测量支持系统
即使对复杂形状也能实现更快、更简单、更准确的测量
对于显示测量显微镜输出的数据和图像来说，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和测量。为了支持高精度、高复杂性的测量，奥林巴斯测量软件可以和数码照相机结合使用。更多详细内容可咨询昆山玛基智能科技。
STM7规格
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小型手动镜架 STM7-SF
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小型电动镜架 STM7-SFA
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中型手动镜架 STM7-MF
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中型电动镜架 STM7-MAF
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大型手动镜架 STM7-LF
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大型镜架 STM7-LFA
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显微镜 镜架
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聚焦
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垂直移动范围
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175 mm
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145 mm
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zui大的测量高度
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120 mm（配备测量物镜） 175 mm（配备金相物镜）
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90 mm（配备测量物镜） 145 mm*1（配备金相物镜）
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Z轴测量分辨率
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0.1 μm
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Z轴驱动方法
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手动同轴 微调/粗调 焦旋钮
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电马达驱动： ●聚焦按钮： 移动速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗调焦旋钮： 微调焦速度（旋转 一周移动量） 有4档可供选择 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm)
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手动同轴 微调/粗调 焦旋钮
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电马达驱动： ●聚焦按钮： 移动速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗调焦旋钮： 微调焦速度（旋转 一周移动量） 有4档可供选择 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm)
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手动同轴 微调/粗调 焦旋钮
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电马达驱动： ●聚焦按钮： 移动速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗调焦旋钮： 微调焦速度（旋转 一周移动量） 有4档可供选择 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm)
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照明
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LED照明
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白色：用于反射光照明，绿色：用于透射光照明
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镜筒
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正像单目镜筒，正像三目镜筒(100:0/0:100)
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物镜
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测量显微镜用
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MM6-OB系列
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金相显微镜用
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MPLFLN系列, LMPLFLN系列, MPLFLN-BD系列, LMP LFLN-BD系列
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目镜
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MM6-OCC10X (带十字线, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)
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载物台
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测量范围
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STM7-CS50: X轴50 mm, Y轴50 mm STM7-CS100: X轴100 mm, Y轴100 mm
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STM7-CS200: X轴200 mm, Y轴200 mm
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STM7-CS300: X轴300 mm, Y轴300 mm
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测量精度 (L：测量长度)
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STM7-CS50: (3+L/50) μm STM7-CS100: (3+2L/100) μm
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(3+4L/200) μm
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(3+6L/200) μm
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精度保证重量
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STM7-CS50: 5 kg STM7-CS100: 6 kg
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10 kg
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15 kg
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计数器显示
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轴数
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3轴
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单位
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毫米/微米/英寸/密耳
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zui小分辨率
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0.1 μm
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外形尺寸（宽×长×高）（mm）
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466 x 583 x651
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466 x 583 x 811
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606 x 762 x 651
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606 x 762 x 811
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804 x 1024 x 686
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804 x 1024 x 844
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重量
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约84 kg
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约92 kg
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约152 kg
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约159 kg
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约277 kg
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约284 kg
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额定功率
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100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A
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100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A
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100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A
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100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A
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100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A
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100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A
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*1使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时，可以将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。
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