| 品牌 |
Olympus/奥林巴斯 |
型号 |
OLS5100 |
| 测量范围 |
54X-17280X |
测量精度 |
1um |
| 用途 |
金属材料等半导体检测 |
加工定制 |
是 |
| 重量 |
49 |
产地 |
日本 |
| 是否进口 |
是 |
货号 |
ABOLS100221 |
LEXT? OLS5100 3D激光扫描显微镜
奥林巴斯OLS5100共聚焦显微镜用于材料分析的激光显微镜
更智能的工作流程，更快速的实验设计
适用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光显微镜将测量精度和光学性能与智能工具相结合，让显微镜更加方便使用。通过快速高效准确测量亚微米级形状和表面粗糙度的可靠数据简化您的工作流程。
保证测量准确度
LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可获得可靠的高精度数据。
有保证的测量准确度*
奥林巴斯的光学器件能够以更低像差在整个视场中捕捉样品的真实形貌
奥林巴斯OLS5100共聚焦显微镜智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）还可帮助您选择合适的物镜进行粗糙度测量
| 型号
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OLS5100-SAF
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OLS5100-SMF
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OLS5100-LAF
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OLS5100-EAF
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总倍率
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54x–17,280x
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视场
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16 μm–5,120 μm
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测量原理
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光学系统
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反射式共焦激光扫描激光显微镜 反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜 颜色 彩色DIC
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光接收元件
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激光：光电倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相机
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高度测量
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显示分辨率
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0.5 nm
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动态范围
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16位
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重复性σn -1*1 *2 *5
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5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm
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准确度*1 *3 *5
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0.15 + L / 100μm（L：测量长度[μm]）
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拼接图像准确度*1 *3 *5
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10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm])
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测量噪声（Sq噪声）*1 *4 *5
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1 nm（典型值）
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宽度测量
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显示分辨率
|
1 nm
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重复性3σn-1 *1 *2 *5
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5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm
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准确度*1 *3 *5
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测量值+/- 1.5%
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拼接图像准确度*1 *3 *5
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10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接长度[mm]）
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单次测量时*大测量点数量
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4096 × 4096像素
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*大测量点数量
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3600万像素
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XY载物台配置
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长度测量模块
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?
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不适用
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不适用
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?
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工作范围
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100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动
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100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动
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300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动
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100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动
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*大样品高度
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100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)
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30 mm (1.2 in.)
|
30 mm (1.2 in.)
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210 mm (8.3 in.)
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激光光源
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波长
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405 nm
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*大输出
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0.95 mW
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激光等级
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2级（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
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彩色光源
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白光LED
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电气功率
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240 W
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240 W
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278 W
|
240 W
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质量
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显微镜主体
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约31 kg
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约32 kg
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约50 kg
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约43 kg
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控制箱
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约12 kg
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*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证（温度：20?C±1?C，湿度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所规定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜测量时倍率20x或更高。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值。
*5 基于奥林巴斯认证系统下的保证。
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