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基于多级罗茨泵的技术,ACP 120 G泵组是在干式真空领域20多年经验的结晶。ACP 120 G尤其是在应对轻微颗粒物或油污染的工艺中,和常规真空泵相比优势极其明显。对于抽气体积大于用于对> 1 m3的大室容腔体我们提供专用的型号
气体吹扫功能应对轻微腐蚀工艺
用于大容积的版本可供选择
适用于一般工业和科研领域的干式真空泵
抽速 110 m3/h