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这种集成泵结构紧凑，专为弹性集成到半导体生产设施中而开发。该系列紧凑型泵专为直接安装在工具或晶圆厂的底层地板上而设计，可实现频繁而快速的抽真空循环。它是用于装载互锁和传输室以及所有其他非腐蚀性应用的完美解决方案。
真空泵市场领域的先锋。由于重点在于提高的运行时间，A 100 L 不需进行现场预前维护，并提供了在其级别中的可靠性，且平均故障间隔时间超过 195 000 小时。
在集成型干式泵市场上处于主导地位
高吸气能力 100 m3/h
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