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基于多级罗茨泵的技术,ACG 600 G泵组是在干式真空领域20多年经验的结晶。ACG 600 G尤其是在应对轻微颗粒物或油污染的工艺中,和常规真空泵相比优势极其明显。对于抽气体积大于用于对> 1 m3的大室容腔体我们提供专用的型号。
气体吹扫功能应对轻微腐蚀工艺
用于大容积的版本可供选择
当需要更高的吸气能力时,ACG 600 G 泵组将干式泵 ACP 120 G 与 600 m3/h 的罗茨泵进行组合
高抽速 560 m3/h