| 型号 |
射频电源匹配器 |
输入电压 |
AC180-250V |
| 输出电压 |
AC180-250V |
外形尺寸 |
440x406x130mm |
| 是否跨境货源 |
是 |
厂家 |
吉兆源 |
产品性能
该电源通过特殊的射频隔离设计,将射频电源与自动匹配器集为一体,减少射频系统体积。输出功率300W,频率13.56MHz,标准正弦波。大屏幕液晶显示:设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数。
应用对象
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括:磁控溅射、等离子清洗、PECVD等小型容性射频系统。