| 型号 |
2MHz射频电源 |
输入电压 |
AC180-250V |
| 输出电压 |
AC180-250V |
加工定制 |
是 |
| 外形尺寸 |
480x133mm |
是否跨境货源 |
否 |
产品性能
该射频电源采用E类放大器，实现效率高、高可靠性。大的冗余设计，使其具有长期满功率输出能力。特殊的滤波网络，实现波形的纯净。谐波性能优越，可承受开路、短路等极端冲击。大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数
产品性能
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括：刻蚀、PECVD、磁控溅射、ICP等 。
控制方式
该电源控制方式多样：RS232、RS485、DeviceNet和模拟口等方式。
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