联系人：胡名员
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地址： 广东东莞市东坑镇凤大工业区
| 品牌 |
全系品牌 |
型号 |
维修保养 |
| 类型 |
真空镀膜机 |
材质 |
不锈钢炉体 |
| 加工定制 |
否 |
外形尺寸 |
600-3000mm |
远大真空技术有限责任公司维修国内外各种品牌型号真空电镀机，可解决如下问题
1.镀膜系统改自动化操作
2.增加抽真空机组
3.真空抽气捡漏，补漏
4.真空泵抽不上真空，抽气慢
5.真空镀膜机大保养
6.蒸发镀铝不均匀/不白/有麻点
7.镀膜电源故障，真空计显示不正常
8.离子镀膜设备炉内镀膜上下有色差，颜色不均匀
9.真空腔体补焊，重焊
10.镀膜工艺开发 玫瑰红，青古铜，红古铜，粉红色，酒红色，黑色膜等膜系
11.设备改造，增加电子枪系统，离子源系统，磁控溅射系统，蒸发镀膜系统，离子镀系统等。
12.该类设备搬厂，移位，吊装等服务。
靶中毒的解决办法（1）采用中频电源或射频电源。（2）采用闭环控制反应气体的通入量。（3）采用孪生靶（4）控制镀膜模式的变换：在镀膜前，采集靶中毒的迟滞效应曲线，使进气流量控制在产生靶中毒的前沿，确保工艺过程始终处于沉积速率陡降前的模式。
靶中毒现象(1)正离子堆积：靶中毒时，靶面形成一层绝缘膜，正离子到达阴极靶面时由于绝缘层的阻挡，不能直接进入阴极靶面，而是堆积在靶面上，容易产生冷场致弧光放电---打弧，使阴极溅射无法进行下去。（2）阳极消失：靶中毒时，接地的真空室壁上也沉积了绝缘膜，到达阳极的电子无法进入阳极，形成阳极消失现象。
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