联系人:胡名员
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电话:18928275313
地址: 广东东莞市东坑镇凤大工业区
| 品牌 |
实力源 |
型号 |
1680×1250 |
| 材质 |
不锈钢 |
外形尺寸 |
1680×1250 |
| 重量 |
7000 |
加工定制 |
否 |
| 是否进口 |
否 |
产地 |
北京 |
实力源多弧中频磁控溅射镀膜机技术参数如下:

设备尺寸:内腔直径1680mm × 高度1200mm

主抽系统配置:3台400中科仪分子泵 + 1台翠曼600罗次泵 + 2台70南光机械泵

辅抽系统配置:1台翠曼300罗次泵 + 1台70南光机械泵

电源配置:10个佳宁250A弧电源 + 30KW众鑫达中频电源 + 30Kw偏压电源

靶材配置:单边5个弧靶(对边预留5个弧靶位) + 4对中频圆柱溅射靶(最大可装10对)
其他配置:4路美国AE流量计 + 炉内加热器(最高300℃) + 28杆下转架(杆距160mm) + 全自动控制系统电柜
