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光清洗灯/Low pressure mercury lamps)
m和254nm两个主要波段.. 常用40W 90W 110W 200W 可用于涂料的硬化、Hardcoat(硬化膜)树脂的硬化、SiO2烧成前的改质。
低压灯管:长达6000小时寿命的低压灯管可稳定放出波长为254nm与185nm的紫外线。以波长效果所产生的活性氧与波长能量来进行有机物的除去及改质等UV洗净作业。
可用于洗净液晶玻璃基板的有机物(改善亲湿性),或是用来进行film等的改质。