卷材真空等离子处理系统，等离子清洗机

　　产品特点

　　 卷材等离子处理系统,触摸电脑+PLC多步流程全自动控制,全电路检测,用于PTFE/PI薄膜、FPC柔性电路板、电池隔膜等卷筒材料清洗、刻蚀、活化、接枝处理,可选择中频、射频、微波等离子处理模式。

　　>> 技术参数（常规配置，可根据客户要求定做）

　　◆ 处理材料

　　材料直径：400mm ，材料宽度：100mm

　　◆ 等离子发生器(美国MKS)

　　频率13.56MHZ,功率0-2500W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

　　◆ 控制系统

　　触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

　　◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

　　日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S) x2台（前级泵可选配爱德华干泵）

　　英国爱德华罗茨泵 EH1000(280L/S)

　　台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器

　　◆ 充气系统

　　美国MKS高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀

　　美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

　　日本SMC及CKD高真空气阀组件

　　离子清洗机主要用于各种材料的清洗、蚀刻、表面活化，如手机屏幕、仪表屏幕等精密部件的高效清洗，也可用于材料表面的亲水性处理。的特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗，得到完全洁净和无氧化层的表面。作为一种精密干法清洗设备，高效等离子清洗机主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。